„vieno langelio“ paslaugoje
„Newtek Gas“ pateikia pažangiausią PSA (slėgio sūpynių adsorbcijos) deguonies generavimo sistemą, specialiai sukurtą puslaidininkių gamybos aplinkai. Šis modulinis sprendimas suteikia 99,5% ypač aukšto grynumo deguonies, kurio srautai svyruoja nuo 5-3000 nm³/h, pasižymintis intelektualiomis integracijos galimybėmis švaraus kambario operacijoms.
Pagrindiniai techniniai pranašumai
Dual-column 13X molecular sieve system achieves >99.999% O₂ grynumas
± 0. 5% koncentracijos stabilumas atliekant realaus laiko lazerio dujų analizę
0. 1 μm daugiapakopė filtravimas (HEPA+ULPA) užtikrina ISO 3 klasės atitiktį
- 30% mažesnis energijos suvartojimas nei įprastos sistemos
- Šilumos atkūrimo sistema sumažina šiluminę apkrovą Fab aplinkoje
- <65dB(A) noise level with acoustic enclosure option
Mastelio pritvirtintas slidėmis pritvirtintas dizainas palaiko 20% -200% talpos išplėtimas
Oro suspaudimo blokas (slinkties technologija be aliejaus)
Valymo bokštas (automatinis TSA drėgmės pašalinimas)
„Smart Control“ spintelė (PLC+HMI su SECS/GEM PROTOCOL)
Puslaidininkių proceso programos
✔ Šilumos oksidacija
Tikslus O₂ Tiekimas vartų oksido augimui (2-200 Å storio valdymas)
✔ Sausas ėsdinimas
Nanoskalės modeliavimo dujų tiekimas plazmoje
✔ CVD kameros valymas
Ypač sausas deguonis, skirtas dalelių užteršimo prevencijai
✔ Vaflių atkaitinimas
Didelio grynumo atmosferos kontrolė dopantinei aktyvacijai
Išmanioji stebėjimo sistema
Realiojo laiko priemaišų stebėjimas (PPB lygio aptikimas)
Prognozuojama priežiūra naudojant AI algoritmą (98% tikslumas)
Nuotolinė diagnostika per IIOT platformą (OPC UA/MTConnect)
Pusiau f 5-0202 švarios patalpos dujų standartai
CE/UL/ETL elektros saugos sertifikatas
ISO 14644-1 3 klasės „Cleanroom“ suderinamumas
Mes teikiame
▲ Pasaulinis techninis tinklas:24/7 daugiakalbė parama su<4hr response time
▲ Gyvenimo laiko optimizavimo programa:Metinis efektyvumo audito ir molekulinio sieto pakeitimo paslauga (1- metų garantija)
▲Pasirinktiniai sprendimai:Pritaikyta integracija su AMHS/MMC sistemomis
ir dujų atkūrimo sistemos dizainas
Susisiekite su mūsų puslaidininkių dujų ekspertais
📞 + 8615336587300
📧 sales@newtekgas.com
🌐 www.newtekgas.com
Populiarus Žymos: Semikonininkų, Kinijos deguonies deguonies generatoriaus puslaidininkių gamintojams, tiekėjams, deguonies generatoriui, tiekėjams
